SEMI - 人物專訪

重視承諾 堅持做對的事
台灣高科技產業工安推手
— SAHTECH董事長于樹偉


台灣第一份
SEMI EHS標準中文化文件四月初正式出版,由台積電、聯電、奇美、友達、茂德、漢民、優貝克、旺宏等廠商的專家共同參與翻譯,可見台灣業界對於環保安全衞生議題的重視程度。而整合這些業界資源的靈魂人物正是財團法人安全衛生技術中心董事長,同時也擔任SEMI EHS委員會共同主席的于樹偉。

于樹偉投入台灣工安研究領域超過二十年,積極引進並推廣國際環境安全標準,並在去年獲得行政院勞委會所頒發的「國家工安獎個人特殊貢獻獎」。「堅持做對的事,相信以人為本、互信互重的核心價值」,讓這位台灣工安先驅一路走來逐漸塑造出台灣高科技產業的安全文化

堅持做對的事 積極引進國際環安標準
因為接觸國科會的大型防災計畫,于樹偉於民國
77年踏入工業安全的領域,當時國內的工業安全觀念剛開始萌芽。83年他應邀加入工研院工業安全衛生技術發展中心,開始全心投入工安衛技術的研發與推廣。在工研院服務12年,初期從化學工業安全開始,專注化工製程安全的推廣。

十餘年前竹科兩大科技廠無塵室相繼起火,造成百億的損失,在工安事故發生兩個月內,于樹偉即邀請美國EORM及半導體工安專家來台分享美國半導體製程、設備安全管理及緊急應變的經驗,同時開始引進 SEMI S2 半導體設備環保、健康及安全基準,並積極推廣,獲得台積電、聯電、力晶、華邦等大廠的認同。

九二一地震時,工研院率先利用非破壞性的紅外光熱影像技術,檢測設備的零組件是否正常以協助中部地區企業進行災後復原。SEMI制定國際標準最大的好處,就是提供業界Benchmark的基準,幫助廠商進行差異分析(Gap Analysis)避免異常狀態。

于樹偉將工安分成製程、設備和原物料三方面,以半導體製程和設備安全而言,考量最週全的就是SEMI S2的標準。「工研院是技術研發單位,對於許多成熟的技術或國際標準,當年工安衛中心或環安中心的策略就是積極引進國際標準、規範與系統,再加以修正以符合台灣廠商的需要。」

標準中文化 放眼華人環安市場
2004
年,台灣面板業工安事件頻傳,當時在SEMI的主導之下,于樹偉和黃建彰博士開始研究原本由日本草擬的SEMI 3814安全標準,發現不盡然適用於台灣產業,一度考慮建議SEMI修訂被廣泛運用在半導體業的S2安全標準,以滿足面板產業需求。但考慮到面板設備製造商以日商居多,于樹偉開始積極與SEMI日本的標準委員會進行深入溝通,也逐漸了解SEMI 3814中的立意,其中一部份的誤會是語言上的釋義不同所造成的。因此,大約三年前在SEMI台灣提供的平台上,于樹偉開始密集和SEMI日本進行溝通,著手面板業的EHS標準制定,並在今年3月份由SEMI正式頒佈S26安全標準,這也是台灣第一次參與平面顯示器EHS國際標準制定。

而在與國內廠商溝通的過程中發現,國內致力風險管理或設備安全頗具經驗的中階經理對於SEMI S2的解讀都有些許落差,這促成了將SEMI國際標準中文化的決定。這個想法不僅獲得奇美、台積電等大廠的認同與支持,大家也認為應該著眼於包括台灣、大陸和新加坡的華人地區的高科技產業工業安全水準的提升。

當使用者和設備商都遵循EHS安全基準之後,可以有助於提升設備安全和消防安全,另一方面,產險公司也會依據企業符合的風險等級評估保費,降低業者的保險成本。

國際對於工安環保的要求所帶來的壓力和國內廠商的自我要求,是推動國內工安發展的主要驅動力。「國內廠商對於環境工安的承諾(Commitment)和自我要求是最重要的。」于樹偉說。推出S1-S25標準中文化只是第一步,標準推動是一項持續性的工作,未來絕對需要定期修訂、與時俱進,才能滿足國內產業的需求。

Mutual Trust—以人為本 互信互重
沒有
SEMI的起草和承諾,以及委員會成員的投入,就不會有這個中文版的產生,于樹偉強調「Mutual Trust是最重要的一件事」,SAHTECHSEMI都是中立性的非營利組織,必須仰賴業界的資源,最重要的是建立互信基礎。

對於人才,于樹偉絕對不藏私,甚至鼓勵同仁往業界發展,將正確的工安環保觀念帶到企業當中。現在台灣半導體產業約有50%以上的風險管理部門經理或主管,過去都曾在工研院工安衛中心或環安中心服務過。而這也為于樹偉累積了豐富的業界人脈資源。

謙虛、低調的學者性格,以及對推廣工安環保的堅持,讓于樹偉獲得業界與同仁的推崇。「目標導向、堅持品質」是于樹偉對於同仁的唯一要求,在他的帶領之下,環安中心的績效一向都是不錯的。

6C塑造台灣安全文化
英國
HSG65認為主動積極安全文化的塑造需要 4C,分別是Control (控制)Competence (專業能力)Cooperation(合作)Communication(溝通)。于樹偉認為,這次中文化的成功要素也跟4C有關,包括善用產業人士的專業能力、串聯產業不斷溝通、通力合作產生綜效,然而他也指出,最重要的另外2CSEMI在中文化過程中的Coordination(整合協調),以及所有委員會成員的Commitment(承諾)

「沒有SEMI提供的平台與資源,就不可能有今天的成果」于樹偉再三強調。SEMI擁有國際資源與經驗,會員也願意貢獻時間與專業知識。在別的產業也有產業協會,但沒有任何一個組織像SEMI一樣,如此致力於全球化(globalization) 的工作。SEMI國際標準是由歐、美、日的產業專家所共同擬定且獲得先進國家一致採用的標準,其重要性絕對不亞於政府所制定的相關法令,在業界相當具有公信力。

環保成趨勢 以環安提升台灣國際競爭力
于樹偉指出,台灣要成為現代化的國家,不能只注重生產,同時也要強化在公共安全、工業安全和環境保護方面的能力,這是國際趨勢。而二十一世紀台灣的半導體、面板業與太陽能等高科技產業的利基絕對是來自於「綠色競爭力」。

1997年,WSC (World Semiconductor Council) 規定2010年前,所有的會員都必須要符合PFC排放減量的標準。于樹偉和工研院團隊發展PFC排放量的量測技術,以及相關氣體處理系統的技術專利,技術轉移給國內廠商,協助業界達到排放標準。在包括台積電、聯電等業者的努力下,台灣的PFC(全氟化物)排放減量成效已經逐漸顯現。

除了引進國際標準規範,在國際推廣部分于樹偉也相當積極。過去,他在WSC的國際會議中踴躍發言,希望讓國際了解台灣政府、業界對工安環保的重視和努為。數年前,他更率同國內環保業者和工研院同仁,走訪印尼和馬來西亞,推廣台灣的環保和工安技術。「全球化、國際化是台灣產業發展唯一的途徑。」于樹偉強調。

S26的誕生就是一個台灣產業影響國際的例子,在業界凝聚共識與努力之下,我們絕對可以依循相同的溝通模式與經驗,在SEMI提供的平台上,與國際接軌,從使用者角度推動符合台灣產業需求的環保和安全標準。使用者(end-user)和設備供應商(vender)是一定要合作的,SEMI提供的平台可以促進使用者和設備廠商間的溝通,同時也可以作為風險管理部門與管理階層溝通的依據。未來我們希望利用SEMI提供的平台與國際資源,聯合業界的力量持續推動台灣環保工安標準的制定和落實,提升台灣的國際競爭力。

從原本的半導體產業擴張到面板產業和太陽能產業,于樹偉率領的SEMI EHS委員會逐漸成長,希望藉由SEMI催化劑的角色,持續努力,提升台灣業者對於環保工安的重視,在環保工安這個議題上讓國際對台灣豎起大拇指!

採訪整理:SEMI Taiwan編輯 羅凱琳